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精密減速機/伺服行星減速機在高速機械往復運動中做到精確定位的關鍵在于盡量減少通過運動產生的角偏差。定位精度取決于兩個值，一個是于加載有關的偏轉角，涉及到回程間隙和扭轉剛度；另一個是于運動控制有關的偏轉角，涉及到同步偏差問題。
回程間隙齒隙
將輸出端固定，輸入端順時針和逆時針方向旋轉，使輸入端產生額定扭矩+-2%扭矩時，減速機輸入端有一個微小的角位移，此角位移就是回程間隙.單位是"分",就是一度的六十分之一.也有人稱之為背隙。
額定輸出扭矩
指減速機連續長時間工作時可以加載的力矩，條件應滿足負載均勻，安全系數大于1.
加速扭矩
精密減速機/伺服行星減速機指工作周期每小時少于1000次時允許短時間加載.不能超過10000次。
精密行星齒輪減速機的優點
1、結構尺寸小，體積輕巧
2、傳動比范圍大，減速范圍廣
3、傳動效率高，一般效率在95%以上
4、行星減速機內部齒輪的加工工藝更加完美，精度很高，一般的間隙都能保證在10弧分以下，而且內部結構很緊湊，因而耐沖擊性很強
5、輸出扭矩高
6、運轉更平穩順暢、在使用中噪音一般都在65分貝以下，噪音低
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